Harrick等離子清洗機主要由電源、匹配器、腔體、電磁閥、流量計、外接氣體、真空泵和控制電路組成。當出現(xiàn)故障報警時，首先要根據(jù)屏幕上的報警提示檢查哪個部位有報警，從而確定故障的大致部位，然后再檢查相關部位的各個執(zhí)行器是否有異常。檢測控制電路故障直觀簡單的方法就是用萬用表檢測是否有短路或開路，電壓和電流是否正常。如果要在沒有萬用表的情況下排除故障，最快的方法就是更換它。首先根據(jù)屏幕提示確定故障位置，然后更換相同的元件。如果交流接觸器、熱過載、中間繼電器、相序保護器、流量計等電器元件出現(xiàn)故障，問題將很快得到解決。
 

　　

　　如果是燃氣欠壓報警，則需要確認相關進氣口是否有燃氣接入，燃氣壓力、調(diào)壓閥、流量計、電磁閥和模擬量接線是否都OK，相關是否屏幕參數(shù)的參數(shù)設置是否正確。當Harrick等離子清洗機真空度過高或過低時，應首先考慮參數(shù)設置。當真空度太高且參數(shù)設置正常時，需要查明腔體和管道是否泄漏，真空泵的抽真空壓力是否正常。將真空計與真空泵直接連接，測量真空泵的抽真空值是否能達標。

　　

　　如果真空泵的抽真空值正常，說明真空泵是好的，將測量儀連接到抽真空管道上進行測量。如果抽真空值遠高于直接連接真空泵的抽氣值，則表明抽真空管道有泄漏。管道滲漏可能是管道接頭滲漏，也可能是管道滲漏。疏散管道雖然采用金屬不銹鋼制作，但如果每次疏散時管道與周圍的某一部分發(fā)生震動和摩擦，隨著時間的推移，管道也會出現(xiàn)磨損。如果連接抽真空管道的測量儀測得的真空值與直接連接真空泵測得的真空值沒有明顯差異，則說明抽真空管道也良好。接下來，只需在型腔密封處尋找漏氣部位即可。型腔可能泄漏的部位是密封條、玻璃窗、抽氣接頭和外聯(lián)部分、空腔的電極和外聯(lián)部分，而空腔破裂和外聯(lián)部分，最容易發(fā)生漏氣的部位是密封條和玻璃窗。

　　

　　Harrick等離子清洗機電源和匹配器故障在觸發(fā)故障時也會在屏幕報警窗口顯示相關提示信息，但有時會因參數(shù)設置等原因觸發(fā)誤報警信息。這個要根據(jù)情況來分析。電源或匹配器出現(xiàn)故障時，首先確認參數(shù)設置正確，然后檢查設置電源輸出的接線和電壓信號是否正確合理，匹配器與電源的串口通訊是否正確供電正常，再進行人工調(diào)試。如果調(diào)試匹配器的參數(shù)，按下增/減按鈕時相關參數(shù)沒有明顯變化，如果電源的功率輸出沒有變化，則說明電源有故障。